Gamma di viaggio
20 mm
Risoluzione
0,125μm
Ripetibilità
＜1μm
Rettilineità
＜2μm
Parallelismo
＜5μm
Lancio
10"（50μrad）
Imbardata
Velocità massima
5 mm/sec
Capacità di carico
10 kg
Peso
1,5 kg
